凸版印刷显示材料电子移动度提升10倍

编辑：hattie 2011-03-29 14:10:40 浏览：1003 来源：中国OLED网

　　凸版印刷在次世代显示材料透明氧化物半导体的薄膜电晶体上，以涂布方式，在形成薄膜的同时，将与动作速度相关的电子移动度提升至原本10倍的水准。一般而言，涂布方式可高效率形成氧化物半导体薄膜，但在动画显示切换TFT使用的电子移动度将降低，为其课题。加上电压时的电子移动度达1V.s平均5.4平方公分，原本则仅为0.5平方公分。预计可应用于高精细、画面尺寸超过80寸的液晶面板或OLED显示面板上。

　　原本成膜处理时间约需30分钟，在改善成膜制程前后热处理工法后，仅需2-3分即可。TFT的制程最高温度为270度C，较一般方法低约100度C左右。藉由透明氧化物半导体涂布条件的改良， 2-3年后以达到150度C的热处理为目标。

　　试作的显示面板尺寸为2寸，采用玻璃做为TFT基板。以旋转涂布方式，使材料形成薄膜，像素数达1寸平均400像素，实现与运用真空蒸镀工法相同的高解析度。一般氧化物半导体采用真空蒸镀的成膜工法，为达到真空全程需使用大型设备，旋转涂布工法由于不需要真空设备，可达到降低成本的效益。