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韩国本土首款EUV光刻胶开发成功目前已通过三星可靠性测试

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韩国本土首款EUV光刻胶开发成功目前已通过三星可靠性测试

摘要：东进半导体与三星电子合作，成功开发了超细半导体加工必不可少的材料——极紫外（EUV）光刻胶（PR）。

阅读：13512021年12月23日 10:38:01

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