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Hitachi Maxell开发出基于电铸技术的高精度FMM

编辑:chinafpd 2017-11-01 08:51:20 浏览:909  来源:未知

   日立マクセル株式会社(Hitachi Maxell)使用精密电铸加工技术EF2(Electro Fine Forming)开发出AMOLED蒸镀用的高精度金属掩膜版。(EF2为Hitachi Maxell对该技术注册的商标)

  近年来智能手机越来越多的采用AMOLED屏幕,为了实现像素高精细化,关键的蒸镀制程必须使用高精度、低热膨胀系数的金属Mask。

  日前,日立マクセル株式会社使用热膨胀系数小的铁镍合金框架,在其上用电铸技术生长高精度的Mask,开发出一体成型的混合型金属掩膜版(hybrid mask)。通过EF2技术形成的Mask开口部可以做到400ppi以上的精度,Mask的厚度只有8um。

Hitachi Maxell开发出基于电铸技术的高精度FMM

インバー材フレーム:铁镍合金框架

  EF2高精细マスク:EF2高精度Mask

  有机ELパネル用ハイブリッドマスク:OLED面板用hybrid mask

  另外,EF2技术可以在低膨胀系数的铁镍合金框架上直接生长Mask,做到Frame和Mask的一体化,既有效的控制住热膨胀效应,又省掉了传统FMM中最困难的张网制程,简化生产流程。目前FMM使用的主流技术为刻蚀后张网,需要将多片um级别精度的Mask tension到Frame框架上,然后通过镭射焊接进行固定,张网制程不仅对设备有极高的精度要求,还需要对Mask片进行严格的要求,以免影响张网后的精度。当EF2技术成熟之后,Frame+Mask的一体成型FMM到货后将可以直接进入蒸镀机使用,简化了面板厂的工艺流程,提升生产效率。混合型金属掩膜版使用的EF2技术是マクセル与JDI共同开发的,将在2018年秋季向JDI供货。今后,マクセル将与JDI、蒸镀机供应商一起,继续就EF2技术进行开发,直至技术成熟量产。

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