深圳大学微电子研究院/半导体制造研究院院长王序进院士确认出席2021粤港澳大湾区半导体产业趋势论坛
摘要：王序进院士在海内外长期从事微纳加工、芯片制造核心工艺和设备的研发，是该领域的世界级顶尖专家。在齿轮精密加工领域研发成功了高效经济成型磨齿工艺，获得中国首届青年科技奖。研发的LED蓝宝石垫底超精密加工技术为世界首次实现LED量产做出了重大贡献。在半导体制程领域研发成功了用于低k绝缘层平坦化的全世界最低压CMP制程工艺和设备，这一成果得到国际CMP业界高度评价，并获得日本精密工学会技术奖。
阅读：24212021年10月26日 14:49:59
