在2011国际平板显示产业高峰论坛（FPD International CHINA 2011/Beijing Summit）第一天下午的技术演讲上，东丽工程电子业务本部TS涂布机业务部的森俊裕以“G10狭缝涂布机技术”为题，介绍了大尺寸液晶面板彩色滤光片生产工序中采用的光刻胶涂布装置的最新动向。

　　狭缝喷嘴涂布机在大尺寸面板的生产中不可缺少

　　东丽工程的涂布装置被称作狭缝喷嘴涂布机，采用了不同于原来液晶面板生产中使用的旋转涂布机的自主方式。这种狭缝喷嘴涂布机主要具有两大特点。一是可进行高精度涂布。可在玻璃基板上，将膜厚的不均控制在±0.1％以内进行涂布。另一个是高速。第8.5代玻璃基板的光刻胶涂布所需时间在涂布速度为250mm/秒时只需28秒。在彩色滤光片的生产工艺中，RGB和黑色矩阵最少需要进行4次光刻胶涂布。涂布时间的缩短直接关系到液晶面板生产效率的提高。

　　东丽工程的产品截至2011年7月已供货430台，其中面向韩国和台湾的供货量最多。面向中国大陆的供货量也在稳步增长。从不同世代来看，支持第6代以后大尺寸玻璃基板的产品获得了较高份额，其中第7代和第8.5代占70％以上。

　　通过重新设计驱动系统支持第10代玻璃基板

　　玻璃基板的大尺寸化已经进入第10代。为了在第10代中应用狭缝喷嘴涂布机，“必须在高精度维持喷嘴与玻璃基板之间的间隔的同时，高速移动带有较重驱动系统的喷嘴。另外，需要在同步上述动作的同时，从泵中稳定供给光刻胶”（森）。

　　为了稳定喷射光刻胶，新系统将原来的Tube Phragm式泵更换为了该公司自主方式的“CSP(Convolution Syringe Pump)”泵。Tube Phragm式泵存在开始喷射和结束喷射时的吐出量不稳定的缺点。这意味着玻璃基板边缘部分难以控制膜厚。而CSP在高精度上下移动活塞的同时喷射光刻胶，由此稳定了喷射量。

　　东丽工程过去不支持第10代玻璃基板的原狭缝喷嘴涂布机采用的是使泵的活塞移动与驱动系统和喷射的光刻胶相互对称的构造。这种构造的重量均衡性较差，很难用于大尺寸玻璃基板。而用于第10代玻璃基板的装置采用将驱动系统、光刻胶和活塞配置于同一轴上的构造“DBD(Direct Ball screw Drive)”，这样可去掉驱动时的力矩，能够实现高速稳定的工作状态。通过采用DBD，在相同的喷射速度下，压力变化降低到了原构造装置的1/3以下。

　　另外，原来的装置为了易于维护，采用了使支架（Gantry）悬垂于狭缝喷嘴升降轴的构造。而支持第10代玻璃基板的装置采用了使其在狭缝喷嘴升降轴两侧对称的构造，另外还开发出了低重心高合成的支架，从而提高了运行的稳定性。由此，将加速时产生的振动停止时间缩短了40％还要多。