索尼开发出了减少亮度不均、提高画质的有机EL面板,并在全球最大的显示器学会“49th SID International Symposium, Seminar & Exhibition(Display Week 2011)”(SID 2011)上发布。在发布后举行的开发人员见面会上展示了试制品。为一睹其风采,众多研究人员汇集在演示会场,观看了该试制面板的影像。
导致有机EL面板亮度不均的原因之一,是在TFT的栅极电极与源漏电极之间存在产生的寄生电容。由于寄生电容的大小会随着在屏幕上的位置不同而变化,从而产生了亮度不均问题。这种现象在低灰阶时尤为明显。如果能够充分缩小TFT的寄生电容,就可解决亮度不均问题。
此次,索尼改进了TFT的构造。具体来说,就是把以前的底栅构造改为了自对准型顶栅构造。自对准型顶栅构造中由于栅极电极与源漏电极的距离变长,所以可充分缩小寄生电容。
索尼为采用自对准型顶栅构造,开发出了新的制造工艺。主要由4道工序构成:(1)在玻璃基板上形成氧化物半导体IGZO、栅极绝缘膜及栅极电极后,利用干法刻蚀进行图案加工。(2)利用溅射法在其上形成Al薄膜。(3)通过氧退火,氧化Al形成Al2O3保护层,同时在氧化物半导体表面扩散氧气,以形成低电阻层。(4)涂布有机层后,穿出通孔形成源漏电极。
利用工序(3)中形成的Al2O3保护层和氧化物半导体表面的低电阻层,可稳定TFT性能提高时所必需的退火处理,还可实现高可靠性。另外,索尼在此次开发的制造工艺中,掩模工序仅为4道,在成本方面也具有优势。此外,由于自对准型顶栅构造中TFT的通道长度较短,易于实现有机EL的大屏幕化和高精细化以及提高驱动频率。
此次索尼试制的有机面板,屏幕尺寸为9.9英寸,像素为960×540。亮度方面,全白时为200cd/m2,峰值时为600cd/m2以上。对比度为100万比1以上。色彩表现范围NTSC比为96%。
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