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东芝开发出柔性有机EL面板,使用最高工艺温度200℃的氧化物TFT驱动

编辑:xiaqiaohui 2011-05-24 08:48:36 浏览:1279  来源:

   东芝开发出了使用氧化物半导体TFT驱动的柔性有机EL面板,并在全球最大的显示器学会“49th SID International Symposium, Seminar & Exhibition(Display Week 2011)”(SID 2011)上进行了发布。通过将形成氧化物TFT时的最高工艺温度控制在200℃,实现了在塑料基板上加工。在发布后举行的开发人员见面会上,东芝展示了在塑料基板形成的试制品。

  此次试制的柔性有机EL面板,屏幕尺寸为3英寸,像素为160×120。在氧化物TFT上形成了白色有机EL和彩色滤光片,实现了彩色显示。TFT所采用的氧化物半导体为IGZO(In-Ga-Zn-O)。栅极驱动电路也是使用氧化物TFT在塑料基板上形成的。有机EL元件采用底部发光型构造,TFT元件采用蚀刻阻挡(Etch Stopper)方式的底栅构造。

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