全球领先的真空和尾气处理设备和服务供应商Edwards宣布，该公司在中国赢得迄今为止最大的销售订单。该订单来自先进平板显示器制造商，价值为1200万英镑（1900万美元），为整个制造厂提供定制式整体尾气处理解决方案。系统将用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和干式刻蚀制造工艺以处理工艺尾气及废液。

　　“我们的整体尾气处理解决方案已经得到优化，以确保工艺尾气及其副产物的处理过程最大程度地减少健康与安全风险并符合环境法规，同时易于安装，”Edwards 中国公司总经理许坚说，“这些系统也有助于减少制造厂的运营成本、能耗和碳足迹。由此产生的低拥有成本使制造商可以有效地管理财务业绩，同时十分环保。”

　　最新整体系统订单包括Spectra Z 和Atlas TPU尾气处理系统。平板显示器制造涉及大量硅烷，硅烷容易起火，而且每升产生2.68克左右二氧化硅粉末（满负荷生产的平板显示器制造厂每天可生产高达200公斤粉末）。这些粉末容易堵塞尾气管，降低系统性能，而且需要维护。Spectra Z已经经过优化以处理高流量硅烷，从而提高制造厂安全性，增长系统正常运行时间。

　　Atlas TPU 无明火的内燃式燃烧系统，在处理平板显示器制造中另一种常用气体NF3的过程中不会产生全球温室气体。Atlas TPU是一种经过现场验证的可防止PFCs 和 NOx形成的高效解决方案。

　　“人们普遍认为2010年将是经济复苏的一年，尤其是中国正处于高速发展时期，” Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones说，“这一重大销售订单体现了Edwards在亚洲的扩张。