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应用材料公司推出新设备 大幅提高LTPS良率

编辑:chris 2015-04-06 14:26 浏览 评论 评论 1 赞    来源:  中华显示网

  近年来,随着高分辨率智能手机的盛行以及智能手机屏幕平均尺寸的持续增大,基于LTPS技术面板的需求将持续走高。为了应对中国市场对中小尺寸LTPS面板的庞大需求,2015年3月,应用材料公司在上海举行了“推动中国通信行业发展和低温多晶硅显示面板量产”的媒体说明会。

  过去的二十年,显示技术飞速发展,低温多晶硅开始应用于高清显示面板和AMOLED 面板的生产制造。应用材料公司显示产品事业部首席营销官Max McDaniel表示,目前中国面板厂商正积极投资LTPS (低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板)技术以供应中小尺寸高清面板。虽然中国面板厂商期望扩大LTPS面板产能,但对于一些刚加入的厂商来说,建厂之后产能提升的同时,LTPS面板厂的运作效率和良率是急需解决的大问题。

   应用材料公司显示产品事业部首席营销官Max McDaniel

  Max认为,“对显示行业来讲,分辨率、尺寸和形状始终是驱动它发展的三个因素。其中,分辨率与尺寸这两个在所有的显示终端,从电视到移动终端都一直在往高标准发展。柔性显示这种形式为显示应用赋予了新的发展意义,开创了自由改变显示屏幕形状的可能。”

  本次说明会上,应用材料公司重点介绍了针对LTPS面板生产所需的最新型号CVD设备和PVD设备。据介绍,在传统的电视、显示器和笔记本电脑领域,应用材料公司为业界提供了制造薄膜晶体管液晶显示所需的核心关键设备,从阵列CVD、阵列PVD到阵列测试和彩色滤光片PVD设备;在新型的OLED显示、平板电脑和智能机显示领域,应用材料公司提供了低温多晶硅、金属氧化物、触摸屏和薄膜封装等成膜设备。

  应用材料公司显示器事业部中国区资深销售经理方甦棣女士介绍:“应用材料公司的CVD化学气相沉积设备,采用其独创的空心阴极技术,能在相对较低的射频下形成较强的均匀化等离子体分布,以实现更高的成膜速率和更致密膜层,同时有效地避免了高射频所带来的潜在的异常放电和对工艺腔体部件的损伤。对于LTPS面板生产而言,更致密的膜层意味着可在更薄的膜层情况下有效减少漏电流的产生。还有异物颗粒是一个不可避免的东西,关键就是如何去避免和降低异物颗粒的程度,这很大程度取决于设备制造商多年积累下来的生产和设计制造经验。目前应用材料公司通过长期的设计、安装、调试,已经向全球所有主要面板商提供了数百台五代线以上的设备。针对目前市场上投资比较火热的六代LTPS面板线,应用材料公司推出的25KPXi CVD设备,采用多个降低颗粒的细节设计,以满足用户对于LTPS的更少更小缺陷性颗粒产生的需求。”

  据了解,应用材料公司已在台湾台南科学工业园区设立台南显示实验室。台南显示实验室目前已有可用于金属氧化物工艺的8.5代55KSCVD设备,用于彩膜ITO和各种触控屏镀膜的在线PVD设备,以及6代尺寸的用于阵列生产的PVD机台。应用材料公司还计划2015年的第二季度在台南的研发中心导入新型CVD机台,实现LTPS工艺的深度开发整合,更好地支持客户做好量产工艺的开发和准备,从而缩短客户量产工厂的爬坡时间。

    应用材料公司资深工程师林宛瑜博士

  另外,应用材料公司台南显示实验室的资深工程师林宛瑜博士也针对PVD设备做了详细介绍。她表示,“应用材料公司PVD设备利用革命性的旋转靶技术,实现腔体内气压的稳定,提高成膜的均匀度。靶材使用率的提高,提升了设备稼动率,降低了客户运行成本。”

  PVD设备可以实现均匀的,优良刻蚀残留性能的ITO成膜:第一、旋转阴极阵列保证ITO成膜的均匀性;第二、稳定的反应制程可实现理想的电阻和透光性;可控的制程优化实现无刻蚀残留的ITO沉积;为形成的深孔进行出色的阶梯覆盖。同时,应用材料公司的旋转阴极可以控制阴极磁铁的旋转方向从而控制成膜的速度,更好地进行缺陷和靶材侵蚀的控制,达到一个非常好的均匀度;旋转靶材的自清洁特性可以极大改善靶材表面光整度,大幅度提升靶材利用率和靶材寿命,减少靶材维护和更新的频率,从而提高设备的稼动率,降低客户的综合使用成本。

  Max表示,和非晶硅TFT相比,LTPS最大的贡献就是可以实现更高的解析度与快速响应。由于它的工艺相对复杂,制造成本较高,在过去的很长一段时间都只限于在较小尺寸的基板上进行生产。近几年,随着市场对高解析度移动终端需求的强劲增长,以及各个面板厂商和设备厂商在LTPS领域的技术提升,目前我们看到最新的LTPS TFT 的投资大多已是6代线工厂。 谈到金属氧化物技术,Max认为,“由于其较为容易在大尺寸基板上实现,同时它的低漏电率可起到很好的节能效果,又与现有设备和制程有一定的兼容性,目前其较大的应用是在大尺寸的移动终端设备如平板电脑或笔记本电脑显示屏上。另外,因为金属氧化物TFT也是OLED TV 背板的主导技术之一,我们相信其在平板显示领域会有相当大的市场和应用前景。”

  随着近两年的投资扩建,特别是大世代液晶面板线在中国的陆续建立,Max认为在未来两到三年的时间内可能会出现小幅度的结构性产能过剩,但高端移动产品(超高清、OLED等移动显示产品)仍然拥有一定的价格和盈利优势。随着终端市场竞争日益激烈,对于中国的LTPS生产企业而言,如何快速地实现量产,提升良率将成为制胜的关键。

  应用材料公司针对半导体、平板显示和太阳能光伏行业所需的精密材料工程解决方案方面有着悠久历史,凭借在半导体制造设备与服务领域的经验,能够帮助客户的低温多晶硅面板厂缩短爬坡时间,尽快实现量产,优化并提升良率等方面取得更大的成绩。从2004年在北京设立中国第一个销售服务中心,迄今应用材料公司显示事业部已经在中国大陆建立了完善的基础设施,包括六个以上现场服务中心和三个备品备件保税仓库,拥有丰富实战经验、职业精神的销售和售后服务团队;同时,应用材料公司还在台湾建立了显示技术研发实验室,及时为中国大陆客户提供合作研究、技术开发的便利条件。

  作为平板显示供应链的最前端,Max表示,应用材料公司未来愿聚焦于客户的高附加价值问题的解决方案,为中国平板显示客户提供更先进的设备和工艺,及时开发新的技术和设备,提高器件品质和良率,为中国平板显示行业作出自己的贡献。

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