元器件交易网讯 2014北京微电子研讨会10月23日在北京经济技术开发区举行。中国IGBT技术创新与产业联盟理事长丁荣军针对“IGBT技术的创新与产业发展”进行演讲,他总结了现阶段IGBT技术的发展状况、价值、和面临的挑战。
IGBT是在MOS器件基础上发展起来的新型功率半导体器件,是传统功率半导体物理和微电子制造技术两者有机结合的产物。功率半导体器件是变频、变流、变压、功率管理和功率放大的核心器件,广泛应用于轨道交通、电力、工业控制等领域,在社会生活中具有不可替代的关键作用。
中国IGBT技术创新与产业联盟理事长丁荣军
技术与产业发展状况:
1.IGBT技术特点
物理机理:高压大注入下的特殊物理机制(电导调制,寿命控制....)
特色工艺:深结、厚膜、薄片、高压终端及背面特色工艺
技术难点:功率密度高,最高结温已达200摄氏度,动静态参数折衰难
2.国内外发展现状
已建成全球第二条、国内首条8英寸专业IGBT芯片线及全自动高压模块封装线,目前正逐步实现批量投产。
具备年产12万片8英寸芯片和100万只模块的能力,产品覆盖650V-6500V,规模脐身世界前列。
拥有国际先进的工艺技术平台,以及成熟的高压平面栅IGBT技术与中低压沟槽IGBT技术。
对于IGBT产业所面临的挑战:
丁荣军说由于我国起步较晚,IGBT产业的长期健康发展,需要重视发展有自主知识产权的技术,规划建立知识产权共享平台。继续扩大IGBT耐压和电流的范围,将带来器件终端设计与制造、芯片减薄、材料与制造均匀性提升等方面的挑战。
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